آنالیز SEM

نمونه‌های غیررسانا مانند پلیمرها، سرامیک‌ها و مواد بیولوژیک، الکترون‌ها را روی سطح جمع کرده و باعث اختلال تصویر و خطوط روشن می‌شوند؛ به همین دلیل پیش از تصویربرداری با لایه نازک ۵ تا ۱۰ نانومتری طلا-پالادیم پوشش داده می‌شوند. این پوشش بسیار نازک است و جزئیات سطح را از بین نمی‌برد.

EDS طیف اشعه ایکس مشخصه ساطع‌شده از برهم‌کنش باریکه الکترونی با نمونه را تحلیل می‌کند و نشان می‌دهد کدام عناصر و با چه نسبت تقریبی در نقطه هدف یا سراسر سطح حضور دارند؛ نقشه توزیع (Mapping) نیز مکان هر عنصر را با رنگ‌های مجزا نمایش می‌دهد. حد تشخیص این روش حدود ۰.۵ درصد وزنی است.

نمونه باید در محفظه خلأ پایدار باشد؛ ابعاد معمول تا حدود ۳۰ میلی‌متر ارتفاع و قطر در هولدر استاندارد پذیرفته می‌شود و نمونه‌های حاوی آب، روغن یا گاز باید پیش از آنالیز خشک شوند. نمونه‌های مغناطیسی و بیولوژیک نیز نیازمند هماهنگی خاص پیش از ارسال هستند.

الکترون‌های ثانویه (SE) از لایه بسیار سطحی نمونه خارج می‌شوند و بهترین جزئیات توپوگرافی و شکل را نشان می‌دهند؛ الکترون‌های برگشتی (BSE) از عمق بیشتری می‌آیند و شدت آن‌ها به عدد اتمی بستگی دارد، بنابراین نواحی دارای عناصر سنگین‌تر روشن‌تر دیده می‌شوند و فازها به‌خوبی تفکیک می‌گردند.